English version [...]
Facilitate de micro-nanostructurare dispozitive si sisteme
- Facilitatea de micro-nanostructurare dispozitive si sisteme contine urmatoarele echipamente:
- Echipamente pentru: Microlitografie si Configurari speciale ; Nanolitografie; Depuneri specializate; Depuneri fizice (din faza solida); Corodari uscate; Chimie masti.
- Laser lithography system - DWL 66 fs, Echipament de scriere directa cu laser in rezist, pentru trasnferul geometriilor de pe calculator (rezultatul proiectarii) pe masca de crom. DWL poate realiza masti de dimensiuni 4” – 6” cu dimensiunea minima de linie de 0.6 microni. Echipamentul este produs de Heidelberg Instruments Mikrotechnik, Germany
- Electron Beam Lithography and nanoengineering workstation - e_Line-Raith GmbH, Germany; rezolutie 10nm;
- Masina de aliniere masti, dublu fata: Double Side Mask Aligner - MA6/BA6-Suss MicroTec, Germany, rezolutie 0.6 microni;
- Electron Beam Evaporation - TEMESCAL FC-2000 (Temescal, USA), realizeaza depuneri de straturi subtiri metalice pentru transpunerea geometriilor de pe masca in substrat urmata de lift -off
- Deep Reactive Ion Etching System (DRIE) , instalatie de corodare in plasma pentru siliciu, SiO2, Si3N4
- Reactive Ion Eatching (RIE), instalatie de corodare in plasma pentru polisiliciu, rezist
- Categorii principale de servicii oferite: servicii tehnologice pentru dezvoltarea de micro-nano dispozitive si sisteme - micro si nano-litografie, micro si nano-structurare 3D in materiale semiconductoare, straturi metalice pentru tehnologia Lift-off, corodare in plasma, proiectare si realizare masti la comanda .
- Moduri de acces: acces direct si indirect (servicii) pentru utilizatorii din tara si din strainatate.
- Certificarea calitatii serviciilor: incepand cu Iunie 2011, infrastructura IMT-MINAFAB din care face parte Facilitatea de micro-nanostructurare dispozitive si sisteme este certificata pentru managementul calitatii serviciilor de CD, conform SR EN ISO 9001:2008, de catre firma TÜV THÜRINGEN e.V. Germania.
- Contact: Dr. Adrian Dinescu, email: [email protected]; Tel: +40212690770
Evenimente:
Ministerul Educatiei, Cercetarii si Inovarii
Autoritatea Nationala pentru Cercetare Stiintifica
INCD-Microtehnologie (IMT-Bucuresti)Prezinta: "IMT- MINAFAB (IMT facility for MIcro- and NAnoFABrication)"
Este o facilitate de micro-si nanofabricatie care asigura si caracterizarea, simularea si proiectarea asistata de calculator. Functioneaza ca un centru de servicii, care permite atat colaborarea in cercetare, educatie si inovare, cat si accesul direct la echipamente.
Organizator: INCD-Microtehnologie (IMT-Bucuresti)
Suport:
- Centrul de transfer tehnologic pentru microinginerie (CTT-Baneasa), autonom in cadrul IMT
- Parcul stiintific si tehnologic de micro-si nantehnologii MINATECH-RO (prin firmele din parc, in special cele care asigura servicii complementare)
Contact: [email protected]
- Programul manifestarilor - prezentari [...]
- Formular de inscriere pentru persoanele interesate [...]
- Articole recente in media [...]
- Prezentarea Laboratorelor din IMT-Bucuresti [...]