|
1. Proiectare utilizant programul 3Lith
Acest program este destinat proiectarii elementelor difractiv cu metode numerice prin introducerea ca fisier de intrare a imaginii care se doreste reconstruita intr-un anumit plan sau la infinit. In acest fel se pot realiza elemente optice difractive cu un grad mare de complexitate. In plus, acest program permite verificarii calitatii elementelor optice difractive proiectate prin reconstructia pe cale numerica a imaginii obtinute prin iluminarea respectivului element optic difractiv. Fisierele cu elementele optice difractive sunt convertite intr-un fisier compatibil cu instalatia de scriere cu fascicul de electroni, astfel ca dupa aplicarea corectiilor necesarein functie de tipul de fotorezist are loc corespondenta dintre distributia XY de faza a elementului optic difractiv proiectat si distributia XY de grosime a stratului de electronrezist a elementului optic difractiv propriu-zis.. Aceasta distributie de grosime a electronrezistului se obtine prin variatia intensitatii de iluminare cu fascicul de electroni. Softul 3Lith permite proiectarea unui element optic difractiv cu 2, 4, 8, 16,... 256 nivele. Desi acest sistem de realizare a unui element optic este simplu are dezavantajul ca necesita un control strict al parametrilor de proces (temperatura, umiditate, calitatea developantului, durata procesului de developare, etc). O alta cale de realizare a elementelor optice difractive se bazeaza pe realizarea de nivele discrete folosind mai multe masti si se aplica pentru elemente optice difractive de dimensiuni relativ mari care nu pot fi realizate cu instalatia de scriere cu fasciculde electroni. In acest caz are loc prelucrarea fisierului cu distributia de faza a elementului optic difractiv pentru obtinerea fisierelor corespunzatoare fiecarei masti. Mastile astfel generate sunt importate in softul Clewin si prelucrate (se adauga semne de aliniere si eventual un intercip) si apoi sunt introduse in masina de scriere masti pentru fotolitografia optica.
2. Proiectare structuri difractive de tip lentile Fresnel
In cazul proiectarii de lentile Fresnel se utilizeaza formule analitice pentru determinarea distributiei de faza si implicit de relief a lentilelor. A fost realizat un program de calcul (script) optimizat pentru Lentile Fresnel si cuplat cu programul Software se genereaza geometria lentilelor Fresnel cu diverse distante focala. Simularea propagarii radiatiei prin lentila Fresnel astfel generata se realizeaza tot cu programul software OptiBPM care este bazat pe metoda numerica BPM - Beam propagation Method. Programul de calcul realizat, cuplat cu programulOptiFDTD permite si generarea fisierelor corespunzatoare mastilor care apoi se pot importa in programul Clewin pentru realizare de masti.Se pot proiecta structuri difractive introduc pe masca utilizand programul CleWin.
Beneficiari
Beneficiarii acestor servicii de proiectare sunt doctoranzi si studenti in anii terminali (Fac. Electronica, Fizica, Automatica) pentru activitati de instruire, tineri cercetatori din institute de cercetare sau IMM, IMM cu activitate in domeniu si institutele de cercetare partenere.
Aplicatii specifice
Elementele optice difractive sunt componente optice care pot fi utilizate in diverse domenii: comunicatii optice, senzori, interconexiuni optice, imagistica, prelucrarea materialelor, industria de divertisment, reclame comerciale, spectroscopie, etc.
Exemple:
-Divizoare de fascicul (beam splitter). Elementele optice difractive transforma fasciculul de intrare in mai multe fascicule de iesire care pot forma retele unidimensionale sau matrici bidimensionale. Fasciculele de iesire pot fi colimate sau focalizate intr-un anumit plan. Aceste tipuri de elemente optice difractive se folosesc cu precadere in domeniul comunicatiilor optice, al interconexiunilor optice si al senzorilor.
-Adaptor de fascicul (beam shaper). Elementele optice difractive permit transformarea fasciculului de radiatie de o anumita forma intr-un fascicul cu o alta forma (de exemplu un fascicul gaussian este transformat intr-un fascicul cu o distributie de intensitate de tip palarie -top hat profile). Aceste tipuri de elemente optice difractive au aplicatii in imagistica – permit obtinerea unor imagini de calitate superioara.
-Generator de configuratii (pattern generator). Elementele optice difractive de acest tip permit crearea de logo-uri, diverse modele geometrice (patrate, linii, cercuri, etc) intr-un anumit plan sau la infinit. Aceste elemente optice difractive au aplicatii in industria reclamelor si de divertisment precum si aplicatii in prelucrarea materialelor (un element optic difractiv care concentreaza radiatia de a lungul unei linii poate sa fie folosit pentru operatiunea de taiere a materialului cu fascicul laser). |
