• Servicii de profilometrie (INFLPR- P3)

Se efectueaza cu profilometrul optic Ambios Xi-100
Profilometrul non contact Ambios Xi-100 foloseste tehnologia interferometrica de deplasare de faza combinata cu un microscop optic pentru a furniza o metoda non contact 3D de masurare a rugozitatii suprafetelor in scala sub nanometrica si micronica. Profilometrul non contact Ambios Xi-100 este conceput pentru a masura suprafete plane sau rugoase cu un domeniu pe directiile X-Y peste 2mm si un domeniu pe directia Z de pana la 100mm. Folosind o izolatie a vibratiilor convenabila, si o mediere a semnalului, se poate obtine rezolutia verticala exprimata in ordinul A pentru modul fin.

Profilometrul non contact Ambios Xi-100 furnizeaza masurari de suprafete precise, reproductibile si non distructive cu ajutorul interferometriei Michelson. Principiul de functionare consta in observare diferentei de drum optic dintre un fascicul proba si fasciculul de referinta; fasciculele produc interferenta constructive si distructiva, acest lucru rezultand intr-o figura cu franje intunecate si luminoase.

Exista doua tipuri de masuratori : modul fin (smooth mode) si modul texturat (texture mode). Daca fasciculul incident este miscat pe verticala in raport cu suprafata probei, figura de interferenta se va schimba de la luminoasa la intunecata pentru fiecare miscare de 550nm.

Fiecare pixel este probat in acest fel, in timp ce capul microscopului se misca cu precizie in sus si in jos folosind un translator piezoelectric deasupra suprafetei probei. Diferentele de faza pentru fiecare pixel in parte sunt determinate cu ajutorul unui algoritm si convertite apoi in diferente de inaltime. Profilul 3D al suprafetei masurate este apoi reconstituit ca o harta falsa de culori si afisat pe monitor impreuna cu statisticile legate de rugozitatea suprafetei. Modul fin este folosit in special pentru suprafete fine, unde distanta “vale-varf” este mai mica de 1mm. Un dezavantaj este ca suprafetele rugoase sau discontinue pot produce masurari ambigue pentru ca toate franjele arata la fel. Masurarile de faza sunt o tehnica ideala pentru suprafete fine fara prag sau discontinuitati.

Pentru masurarea suprafetelor rugoase cu prag sau discontinuitati, exista modul texturat care foloseste masuratori in lumina alba. Avantajul acestei metode este ca pragul si distantele verticale “deal-vale” pot fi masurate sub adancimea de focusare , de pana la 100mm.

Aplicatii specifice
Masuratori de rugozitate a suprafetelor
Masuratori de profile de corodare
Masurare profile MEMS (strcturi suspendate)