Fotodetectoare multielement – matrici uni si bidimensionale –dau o indicatie a pozitiei razei laser prin identificarea structurii care furnizeaza un semnal. Elementele matricii sunt structuri miniaturizate de fotodiode PIN
Lay-out pentru senzorul cu 3x3 elemente
Lay-out pentru doua matrici liniare de fotodiode PIN integrate cu ghidul optic
Fotodetectoare de tip metal-semiconductor-metal (MSM)
Avantajele structurii MSM comparativ cu celelalte tipuri de structuri:
- performante de viteza de raspuns superioare;
- proces de realizare mai simplu;
- tensiune de functionare mai mica;
- compatibilitate cu tehnologia CMOS si capabilitatea de a fi cuplata cu componente microoptice.
Fotodetector multielement cu fotodiode de tip MSM
Imaginea la microscopul optic a fotodetectorului cu 3x3 elemente active realizat.
a) b)
Imagine la microscopul optic a fotodetectorului multielement integrat cu
ghidul optic realizat: a) ansamblu; b) detaliu