PCB

Metamaterialele sunt medii de propagare cu proprietati speciale si domenii de aplicare in domeniul microundelor (2 GHz – 30 GHz), al undelor milimetrice (30 GHz – 300 GHz) si submilimetrice (> 300 GHz).
 


romana


english

 

  

REZULTATE
 
Etapa I

Studii si analize privind geometriile de structuri de dispozitive pe metamateriale pentru frecvente in domeniul undelor milimetrice

-Tehnologii de realizare a liniilor si microstructurilor pentru aplicatii CRLH in unde milimetrice-

Tehnici fotolitografice

A. Intr-una din variante fluxul tehnologic este urmatorul:

  1. Depunerea filmului de metal pe substrat prin tehnica evaporarii in vid sau printr-o tehnica sputtering;
  2. fotolitografie pentru definirea in filmul de metal a elementelor cu dimensiuni micrometrice ale dispozitivului;
  3. etalarea fotorezistului sau electrono-rezistului (PMMA)
  4. definirea cu fascicolul laser sau cu fascicolul de electroni a elementelor submicronice  in filmul de fotorezist/PMMA, etapa care presupune impresionarea rezistului si developarea zonelor impresionate
  5. depunerea  metalului printr-una din tehnisile mentionate;
  6. dizolvarea fotorezistului/ PMMA si cu aceasta ocazie si indepartarea metalului din afara zonelor de interes;

B. Intr-o varianta tehnologica alternativa fluxul de realizare este usor diferit:

  • depunere metal pe substrat;
  • fotolitografie pentru definirea in filmul de metal a elementelor micrometrice ale dispozitivului;
  • etalare fotorezist/electrono-rezist (PMMA);
  • definirea cu laserul sau fascicolul de electroni a elementelor submicronice in filmul de fotorezist/PMMA;
  • corodarea metalului prin masca de fotorezist/PMMA;
  • indepartare masca fotorezist/PMMA prin dizolvare intr-un solvent adecvat;

 
Next >>