| |
■ REZULTATE ETAPA a 2-a
1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla
1C -Tehnologie realizarea a elementelor microfluidice in polimeri
****************************************************
raportam trei activitati de cercetare:
- 1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla (Ciprian Iliescu, Marioara Avram, Radu Popa, Antonio Radoi);
- 1C - Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat polimeric (Marioara Avram, Andrei Avram, Antonio Radoi, Adina Bragaru);
- 5A - Proiectarea miniechipamentului de corodare uscata cu XeF2 (Ciprian Iliescu, Andrei Avram).
****************************************************
1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla
Subactivitatea 1.A.1 Proiectarea tehnologiei
1.A.1.1 Evaluarea compozitiei diferitelor sticle si stabilirea compatibilitatii compozitie – parametri de proces
Rezultate obtinute:
-
Au fost realizate studii experimentale de evaluare a eficientei a trei tipuri de sticla pentru microfluidica (sticla Hoya SD – 2; sticla SODA LIME si sticla Corning 7740).
-
Aceste studii au stat la baza selectiei tipului optim de sticla pentru realizarea ulterioara a platformelor microfluidice, respectiv Corning 7740
-
A fost analizata comparativ, pe sticla Corning 7740 si sticla Soda Lime, influenta parametrilor de proces (compozitia solutiei si timpul de procesare) asupra calitatii suprafetelor
|
1.A.1.2 Evaluarea eficientei diverselor straturi de mascare folosite pentru microprelucrarea sticlei
Rezultate obtinute:
- A fost dezvoltata tehnologia de corodare a sticlei prin straturi de mascare metalice care au stress tensil (CrAu, TiAu, CrCu)
- A fost dezvoltata tehnologia de corodare a sticlei folosind straturi de mascare fara tensiuni reziduale
- Au fost testate urmatoarele straturi de mascare: Si amorf depus in sistem PECVD; Si3N4 si polisiliciu depus LPCVD; Siliciu monocristalin; Carbura de Si amorfa; multistraturi
- A fost analizata influenta caracterului hidrofil sau hidrofob al stratului de mascare utilizat, asupra gravarii sticlei
| |
|
|
| Subactivitatea 1.A.2 Expetimentarea tehnologiei |
| |
|
|
1.A.2.1 Determinarea vitezei de corodare a sticlei in functie de conditiile de proces si stabilirea conditiilor optime de procesare |
Rezultate obtinute: A fost analizata influenta concentratiei solutiei de corodare pe baza de HF; tratamentul termic al plachetei, materialului folosit ca masca de corodare; metoda de agitare a solutiei in timpul corodarii; temperatura solutiei asupra vitezei de corodare a sticlei.
|
| |
|
|
| |
1.A.2.2 Modificarea controlata a suprafetelor de sticla
Rezultate obtinute: Au fost evaluate tehnicile de functionalizare a suprafetelor.
|
| Subactivitatea 1.A.3 Validarea tehnologiei pe structuri test (proiectare, realizare si caracterizare structuri test) |
Rezultate obtinute: Teste de corodarea sticlei prin masca de Si amorf
|
|
****************************************************
|
| 1C -Tehnologie realizarea a elementelor microfluidice in polimeri |
| |
|
|
| Subactivitatea 1.C.1. Realizarea canalelor microfluidice in PDMS |
| |
|
|
Rezultate obtinute:
Au fost dezvoltate procese tehnologice de obtinere a matritelor din SU8 pentru realizarea platformelor microfluidice in PDMS, prin tehnici de corodare umeda si corodare uscata.
|
| Subactivitatea 1.C.2. Dezvoltarea tehnologiilor de sudare PDMS/Sticla |
| |
|
|
Rezultate obtinute:
Au fost experimentate 2 metode de sudura PDMS/Sticla: reversibila – prin folosirea unui adeziv si ireversibila a sticlei – prin activare in plasma de oxigen.
Au fost testate diferite metode de sudura PDMS/sticla si selectia variantei optime pentru aplicatiile dezvoltate in proiect. |
Proiectarea miniechipamentului de corodare uscată cu XeF2
Instalatia de XeF2 este destinata prelucrarii uscate in atmosfera gazoasa a siliciului. Prelucrarea se face in vid, fiind o prelucrare izotropa. |
| |
|
|
|
