Objectives:

• punere in functiune echipament de nanolitografie;
• punerea la punct a proceselor de nanolitografie si stabilirea dimensiunilor minime care se pot configura;
• dezvoltarea de procese de corodare prin masca nanolitografica pentru transferarea geometriei dorite in substrat;
• stabilirea de metode de aliniere cu mastile optice pentru a permite integrarea nanostructurilor cu dispozitive microfotonice
• dezvoltare procese de realizare structuri la scara nano multi – nivel;
• realizare structuri demonstrative de elemente optice difractive si retele de difractie micro si nanostructurate;
• dezvoltare procese de realizare cristale fotonice 1D si 2D;