Activitati (2)
Straturi de nanocompozite polimerice si hibride (dopare, depunere, configurare)
Straturi subtiri din polimeri acrilici dopati pentru cresterea indicelui de refractie Nanocompozitele au fost preparate din nanoparticole de oxid de titan incorporate in matrici de polimeri (acrilici, epoxidici) prin metoda sol-gel sau prin dispersia nanoparticolelor in solutii de polimeri. Valorile indicelui de refractie, determinate prin metoda elipsometrica pe straturile subtiri din nanocompozitele polimerice sunt superioare celor obtinute pe straturi similare din polimeri nedopati ( ex.: la 450 nm, indicele de refractie al unui strat de PMMA creste de la valoarea de 1,504 la 2,075 prin dopare cu TiO2).
Valorile experimentale obtinute la masurarea indicelui de refractie pentru un strat de PMMA, etalat din solutie 7 % PMMA in clorbenzen pe Si <100> (proba 9 )
Valorile experimentale obtinute la masurarea indicelui de refractie pentru un strat de PMMA, etalat din solutie 7 % PMMA in clorbenzen pe Si <100> (proba 9 )Valorile experimentale comparative obtinute la masurarea indicelui de refractie pentru straturi din polimeri acrilici dopate cu TiO2, etalate pe SiO2/ Si
Filme oxidice si hibride in sistemul SiO2-TiO2 dopate cu pamanturi rare - Er2O3 depuse pe siliciu oxidat si configurate (umed sau in plasma) pentru obtinerea de circuite fotonice .
a)	b)
Dispersia indicelui de refractie (a) si variatia grosimii straturilor (b) pentru filmele de SiO2-TiO2-Er2O3 depuse prin imersie pe suport de SiO2/Si
a	b
Strat de SiO2-TiO2 dopat cu Er2O3 configurat fotolitografic pentru realizare microrezonatoare inelare, dupa corodare in: a - solutie "buffered oxide etch" , b - plasma