- Dezvoltarea de microsisteme avansate (microsenzori si actuatori) bazate pe microcantilevere, realizate din siliciu si materiale noi utilizand diferite tehnici inovative de microprelucrare ale siliciului, in vederea integrarii lor pe acelasi substrat.

- Realizarea unor demonstratoare, modele experimentale compuse din structuri 3D de tip MEMS, pentru diverse aplicatii: bio-chimie, detectia gazelor, instrumentatie.

- Studii, experimentari si caracterizari privind diferite materiale noi si procese de obtinere ale acestora, utilizate pentru realizarea unor structuri micromecanice (SU8, SOI) de microconsole si pentru obtinerea unor straturi senzitive (piezoceramice, functionalizate cu starturi biologice)

- Dezvoltare de tehnologii de microprelucrare (micromachining) pentru obtinerea unor structuri de microcantilevere-3D; compatibilizarea tehnicilor abordate pentru realizarea unor 4 structuri integrabile pe substrat de silicu de senzori si actuatori

- Proiectare si simulare structuri micromecanice;

- Realizare model experimental demonstrator de senzor pentru diferite variante constructive de microconsole, realizate prin tehnici MEMS si pentru diferite aplicatii - Diseminarea rezultatelor prin comunicari si publicatii natioanle si internationale, brevetarea rezultatelor

OBIECTIVELE ETAPEI DE EXECUTIE
Etapa I

Studiu privind utilizarile microcantileverelor in structuri de tip MEMS -Studii privind utilizarea cantileverele in structuri de microsisteme MEMS -Studii privind utilizarile microcantileverelor in aplicatii bio

OBIECTIVELE ETAPEI DE EXECUTIE

Etapa II

Studii privind fabricarea microcantileverelor si analiza straturilor senzitive

- Investigarea tehnicilor de microprelucrare
- Investigarea materialelor care pot fi utilizate ca strat senzitiv in diferite aplicati

Etapa III

Experimentari tehnologice preliminare

- Proiectare si realizare masti test
- Experimentari tehnologice tehnici de microprelucrare
- Investigare diferite materiale pentru obtinerea microcantilverelor
- Caracterizare microfizica (WLI, profilometrie)
- Simularea comportarii microcantileverelor in functie de stresul indus de diferite marimi fizice
- Participare la manifetari stiintifice