• domeniul de scanare: 100x100x10 μm
• dotat cu senzori capacitivi
• nivel de zgomot: XY: 0,3 nm, Z: 0,06 nm
• nelinearitate X, Y in modul closed-loop < 0.15 %.
•Microscop Electronic de Baleiaj (SEM) Vega II LMU (Tescan)
Caracteristici:
• rezolutie: 3 nm @ 30 kV
• tensiune de accelerare: 200V-30 kV
• tun electronic: filament W
• marire: 13X – 1.000.000X
• detectori: SE, BSE, LVSTD