1. Arie de micropelistori pentru detectia gazelor combustibile

Descrierea: Micropelistorii realizati, compatibili  cu tehnologiile C.I., sunt utilizati pentru In plus, prezinta avantajul ca pot fi utilizati in medii cu pericol crescut (de explozie).

Fotografie optica a micropelistorului de 10V(simulare)

Deformarea puntii la o tensiune aplicata

Micropelistorul integrat a fost realizat folosind tehnicile si tehnologiile de microprelucrare de suprafata si volum asociate cu procesele de realizare a circuitelor integrate. Pentru a minimiza pierderea de caldura in substrat, senzorul a fost realizat pe o membrana de nitrura de siliciu suspendata.
Dispozitivele realizate se caracterizeaza prin posibilitatea integrarii pe acelasi chip a ariei sensitive impreuna cu partea electronica, consum redus de energie si, implicit, posibilitatea realizarii de dispozitive portabile.
Utilizare: Detectia gazelor combustibile cu aplicatii directe in industria de aparatura casnica, in industria miniera, petroliera, armata, etc. cu efecte in siguranta intreprinderilor industriale si a cetateanului. Anul obtinerii: 2001.

3. Senzor de gaze integrat, realizat prin microprelucrare de suprafata, compatibil CMOS

Descrierea: Principiul de functionare al senzorului chimic rezonant se bazeaza pe modificarea frecventei de rezonanta odata cu modificarea masei puntii rezonatoare, modificare ce apare in urma reactiilor chimice cu mediul inconjurator.
Microstructura rezonanta consta dintr-o micropunte realizata din polisiliciu si electrozii de excitatie si detectie, iar design-ul a fost astfel proiectat incat sa se obtina un factor de calitate mare, reducerea fortelor de atenuare si o buna stabilitate termica.

Fotografie SEM a cipului de senzor cu electronica aferenta

Utilizarea: Industria de aparatura casnica, in industria miniera, petroliera, armata, etc.
Anul obtinerii: 2004.

4. Modulator optic pe baza de elastomer

Descrierea: Modulatorul este compus dintr-un strat de elastomer plasat intre un electrod tip pieptene si un electrod superior care are rol si de oglinda (fig. 1). La aplicarea unei tensiuni intre cei doi electrozi, suprafata stratului  de elastomer - PDMS se onduleaza, radiatia incidenta pe se va difracta in diverse ordine de difractie, fapt care va conduce la atenuarea radiatiei reflectate in ordinul zero, care reprezinta semnalul ce trebuie modulat.

Utilizarea: comunicatii optice; sisteme de procesare optica a informatiei; litografia optica;  aparate de proiectie
Anul obtinerii: 2004

5. Fotodetector quadrant pe baza de compusi AIIIBV  pentru telemetrie laser; centraj optic; detectia de pozitie.

a)

b)

Fotodioda quadrant pe heterostructura de InGaAs/InP: a) structura ; b) caracteristica curent – tensiune pentru un element al structurii quadrant. Scala: orizontal -1 V/div.; vertical - 50 mA/div. 1. -la intuneric; 2.- de iluminare.

Utilizarea: Telemetrie laser; centraj optic; detectie de pozitie. Anul obtinerii: 2005

6. Dispozitiv de detectie pe baza de microcavitate optica pe  substrat de Si

Descrierea: Dispozitivele fotonice cu microcavitate, reprezinta o solutie noua pentru obtinerea simultana a unei eficiente cuantice mari si timp de raspuns ultrascurt prin plasarea regiunii de absorbtie a fotodiodei intr-o microcavitate cu peretii reflectanti in materialul semiconductor.

a)

b)

c)

Dispozitiv de detectie pe baza de microcavitate optica:  a) sectiune transversala prin structura; b) fata structura; c) spate structura. 

Utilizarea: module de receptie selectiva  a semnalului in sistemele de comunicatii optice , interconexiuni optice si telemetrie cu radiatia laser pe l = 1,06 mm.
Anul obtinerii: 2006

7. Microsenzor de forta pentru utilizare in Microscopia de Forta Atomica (AFM)

Descrierea: Prin tehnici de microfabricatie bazate pe procese din tehnologia siliciului s-au obtinut in  cursul aceluiasi flux tehnologic atit cantileverul cat si virful ascutit atasat acestuia, ambele fiind solidar fixate pe cip-ul de siliciu care permite fixarea microsenzorului in microscopul AFM. Utilizarea: AFM Anul obtinerii: 2004

Microcantilevere din SiO2 cu virfuri conice integrate

8. Microstructuri  antireflectante

Descrierea: Sint structuri la scara micronica obtinute pe suprafata siliciului prin tehnologii de microprelucrare a acestuia si permit reducerea reflectivitatii Si prin utilizarea reflexiilor multiple intre peretii ce definesc structurile.
Utilizarea: Se utilizeaza la fotodectorii cu siliciu, pentru imbunatatirea captarii luminii si cresterea performantelor acestora. Anul obtinerii: 2005.

10. Biosenzor pentru detectia si monitorizarea unor xenobiotice (diuron) in efluentii instalatiilor de epurare biologica a apelor uzate

11. Micromatrici fotodetectoare PIN pentru aplicatii in telecomunicatii prin fibre optice

Descrierea: Timpi de raspuns foarte mici, detectie de banda larga, asamblarea matricii adaptabila functie de structura cablului optic (numar de fibre si geometrie), timp de fabricatie redus (tip de proiectare si procesare – “arii de porti”, cost redus de fabricatie
Utilizarea: retele de comunicatii (PC, telefonie digitala) pentru comunicatii locale (ex.:retele de firma), aplicatii speciale (retele pentru unitati militare sau aplicatii de teren- cu protejare transmisie)
Anul obtinerii: 2003 – cu optimizare in 2005

12. Senzor Amperometric detector de glucoza

Utilizarea: Determinarea glucozei din sange Anul obtinerii: 2003

13. Retele matriciale de microalveole pe substrat de sticla borosilicat

Descrierea: S-au realizat retele de structuri matriciale de microalveole de dimensiuni 2 x 2 cm2 in retele tip fagure si de dimensiuni 2 x 5 cm2 in retele tip rastru. Dimensiunea ferestrei celulei alveolare la suprafata dupa configurare sunt  de 20µm.  Mai jos sunt prezentate cateva aspecte ale reteleor micromatriciale realizate pe suport de sticla.Anul obtinerii: 2004.

a)	b)	c)

 (a)  Imaginea microalveolelor in retea tip fagure in iluminare directa perpendicular pe suprafata- X40
 (b)  Imaginea SEM de ansamblu a microalveolelor in retea tip fagure
 (c)  Imaginea SEM, detaliu a microalveolelor in retea tip fagure

Utilizarea:       

• Cultura de fibroblaste dermale realizate pe suport de retele microalveolar.
• Culturi de celule nervoase realizate pe suport de retele microalveola.

14. Celule solare bazate pe microstructurarea de suprafata a siliciului monocristalin

Descriere:Texturizarea suprafetei frontale a celulei, procedeu prin care se obtin asa numitele "black cells".Acest procedeu implica formarea prin corodare anizotropica la suprafata plachetei de siliciu a unor santuri sau piramide inversate care sa permita o mai eficienta captare a luminii in interiorul celulei.