1. Procesare plachete 3"-4"

Descriere: Fotolitogafie (rezisti pozitivi, negativi si reversibili, aliniere- expunere simpla si dubla fata), rezolutie 2 μm; Procese de etalare prin spining (sol-gel, rezisti, polimeri); Procese de curatiri a suprafetelor cu solutii ultrapure; Corodari umede substrat de siliciu, sticle (izotrop, anizotrop); Corodare uscate (plasma); Depuneri si ingrosari electrochimice; Siliciu poros; Tratamente termice la temperatura joasa 300°C-550°C (in atmosfera de N2, N2+ H2, O2); Procese termice la temperaturi inalte 700°C-1200°C (oxidare, depuneri din sursa solida si lichida, annealing); Impantare ionica  de doze mici si medii (B,P); Depuneri de oxizi prin metoda CVD; Depuneri metalice prin evaporare in vid (Au, Cr, Ni, Ti, Al, Mo, SiO, W, Pt); Masuratori de grosime straturi subtiri prin metode profilometrice; Masuratori de rezistivitate; Masuratori optice cu achizitii de imagine.

Noi tehnologii utilizand echipamente nou achizitionate:
Descriere:  corodarea straturilor dielectrice si siliciu utlizand RIE; depuneri de straturi electrice si conductoare utilizand LPCVD; procese de nanolitografie;

In departamentul tehnologic este in curs de amenajare o noua camera alba (clasa 1.000), in care vor fi instalate echipamente dedicate lucrului cu materiale biologice (ADN).
Serviciile tehnologice sunt disponibile in cadrul Departamentului de Tehnologii Micronice.

3. Tehnologie de realizare celule fotovoltaice pe baza de straturi subtiri de siliciu policristalin

Descriere: Imaginea unei portiuni de placheta cu structuri de celule fotovoltaice pe straturi subtiri de siliciu policristalin. Domeniul aplicabilitate: realizarea de celule fotovoltaice si dispozitive de detectie a radiatiei cu lungimea de unda in domeniul 0.2-1.1 mm. Structurile realizate pe baza tehnologiei pot fi integrate in microsisteme fotonice.

4. Procese tehnologice de realizare microstructuri suspendate prin microprelucrarea plachetelor de siliciu cu orientarea <111>

Descriere: realizare microoglinzi mobile; realizare ghiduri de unda din siliciu (conexiuni optice in domeniul spectral 1,3-1,55 mm).

5. Procese tehnologice pentru structuri de detectie integrate  cu ghiduri optice

Descriere: Subsisteme microfotonice utilizabile la procesarea semnalului optic si in sistemele de interconexiuni optice. S-au realizat fotodetectoare integrate cu ghiduri optice pe baza de nitrura de siliciu, pe baza de polimeri dopati si prin tehnica sol-gel pe baza de SiO2-ZrO2 si SiO2-ZrO2.

Imaginea fotodetectorului integrat cu ghidul optic.

6. Tehnologii de realizare senzori optici pentru radiatia UV,VIS, IR

Descriere: realizarea de senzori cu detectie optica la comanda. Senzorii realizabili in aceste tehynologii au aplicati in comunicatii optice, interconexiuni optice, senzori chimici, biologici, mecanici, controlul optic al dispozitivelor de microunde, sisteme de comanda si control ale proceselor industriale.

Matrice de fotodetectoare integrate monolitic pe Si,    bidimensionala cu   4x4   elemente.

7. Tehnologie de realizare a microtraductorilor multifunctionali pe substrat monocristalin piezoelectric cu aplicatii in testarea si monitorizarea calitatii produselor agroalimentare

Descriere: Avantaje-acuratete de detectie, geometrie adaptabila functie de aplicatie, timp de fabricatie redus, cost redus de fabricatie
Utilizarea:  Utilizari pentru ferme mici
Aspecte tehnologice originale: 1. Detectie de prag; 2. Integrare MCM a detectorilor pe acelasi substrat.
Anul obtinerii: 2005