Despre proiect

Acest proiect are ca scop principal extinderea capacitatilor Laboratorului de Caracterizare Microfizica al IMT Bucuresti in domeniul analizei topografice si compozitionale a materialelor si structurilor pentru nanoelectronica. Acest deziderat poate fi indeplinit prin achizitia unui microscop electronic de baleiaj de de ultrainalta rezolutie (FEG-SEM), avind integrate module destinate tehnicilor analitice.

In nanoelectronica dimensiunile celor mai fine structuri au valori sub limita microscopiei optice (chiar si deep-UV) iar in anumite situatii depasesc posibilitatile SEM-urilor clasice. SEM-ul de inalta rezolutie, este probabil cel mai versatil instrument de caracterizare la scara nanometrica, nefiind numai un instrument de sine statator ci reprezentand o platforma integrata pentru o larga varietate de tehnici de caracterizare. El este un instrument complex si destul de scump, ce necesita personal tehnic de inalta calificare, pentru operare si interpretarea rezultatelor.

Proiectul se incadreaza in primul domeniu prioritar al Strategiei Nationale : Tehnologia Informatiei si comunicarii , directia prioritara 1.7 Nanoelectronica, fotonica şi micronanosisteme integrate, tematica 1.7.1 Experimentarea de noi materiale şi tehnologii pentru nanostructuri şi circuite integrate la scara nano. Putem sublinia deasemenea  capacitatile extinse de caracterizare ale echipamentului propus pentru achizitie   in alte domenii cum ar fi : stiinta materialelor, bio-nano-tehnologiile, chimia analitica, industria semiconductorilor, mediu, sanatate, geologie, fizica atmosferei, etc