Rezultate

• Contributie la amenajarea zonei tehnologice tip camera alba clasa 100 000 (“zona gri”);
• Achizitia, instalarea si efectuarea testelor de acceptare pentru un microscop electronic cu efect de camp de ultrainalta rezolutie

Microscop electronic de baleiaj cu emisie in camp, de ultrainalta rezolutie de tip FEI Nova NanoSEM 630.

Caracteristicile tehnice generale  ale acestui echipament sint:

1. Coloana electronooptica de inalta rezolutie cu:

   - lentila fianla cu imersie (snorkel)
   - deschidere de 60 de grade a obiectivului
   - aperturi incalzite ale obiectivului
   - pompare diferentiala prin lentile
   - tehnologie de decelerare a fascicolului
   - tun electronic Schottky de inalta stabilitate

2. Timp de viata garantat al sursei electronice : 12 luni
3. Rezolutie la distanta de lucru optima (in vid inalt):

   - 1.0nm la 15kV (detector TLD-SE)
   - 1.6nm la 1kV (detector TLD- SE)
   - 0.8nm la 30kV (detector STEM)

4. Rezolutia la distanta de lucru optima (in vid scazut):

   - 1.5nm la 10kV (detector Helix)
   - 1.8nm la 3kV (detector Helix)

5. Tensiune de accelerare (facilitatea de decelerare inclusa): 50V-30kV
6. Curent de fascicol: 0.6pA-100nA, ajustabil continuu
7. Camp de vedere maxim: 4mm la distanta de lucru de 5mm
8. Detectori standard:

   - pentru electroni secundari, in coloana (TLD-SE)
   - pentru electroni retroimprastiati, in coloana (TLD-BSE)
   - pentru electroni secundari in camera probelor (ET-SE)
   - pentru electroni secundari  in modul de lucru la vid scazut in camera probelor (LVD-SE)
   - pentru electroni transmisi (STEM-TE)
   - pentru electroni retroimprastiati (la tensiuni de lucru scazute), in camera (vCD-BSE)

9. Sistemul de vidare (fara vapori de ulei):

   - o pompa de previdare (tip scroll)
   - o pompa turbomoleculara
   - doua pompe ionice
   - nivel de vid in camera in modul vid inaintat : E-4 mBar
   - nivel de vid in camera in modul vid scazut: <2mBar
   - timp de vidare: <3.5 min

10. Camera probelor:

    - 379mm latime
    - 5mm distanta de lucru pentru modul analitic
    - 21 de porturi pentru accesorii
    - unghi de lucru pentru EDX: 35 grade

11. Suportul probelor- cu 5 axe, motorizat:

- de tip eucentric
- X= 150mm
- Y= 150mm
- Z= 10mm (40 manual)
- inclinare T= -10/+60 grade
- rotatie R= 180 grade
- pas minim = 100nm
- repetabilitate (la T=0) =1 micron

12. Achizitie de imagine/procesor de configuratii:

- timp Dwell: 50ns- 1ms
- rezolutie maxima imagine: 3584 x 3584 pixeli
- rezolutie maxima patterning 4000 x 4000 pixeli
- posibilitati de integrare sau mediere  a imaginii: pina la 256 de cadre

Modul de lucru in vid scazut al acestui tip de SEM este dedicat probelor neconductive (sticle, polimeri, rasini, unele probe bio, etc) in vederea compensarii efectului de incarcare electrostatica ce apare pe aceste probe.